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流量計用于半導體和液晶制造設備

?流量計用于半導體和液晶制造設備

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■ 顯示并監(jiān)控轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動和液體的流量,以確保噴射的液體附著均勻。
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選定點
1.流量測量
■可以從微小流量進行測量(XFS系列)
■寬流量范圍、高溫度、高耐壓(VC系列)
■通過0.5ms(TDP-4921)、0.1ms(SPD-2401)、1ms(TDP-3621)的模擬輸出測量瞬時流量
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2.轉(zhuǎn)速測量
■通過0.5ms(TDP-4921)、0.1ms(SPD-2401)、1ms(TDP-3621)的模擬輸出測量軸的旋轉(zhuǎn)速度
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3.傳感
■高分辨率旋轉(zhuǎn)編碼器
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